מה זה MOCVD
MOCVD, או Metal Organic Chemical Vapor Deposition, היא טכניקה המשמשת בתעשיית התאורה להנחת סרטים דקים של חומרים על גבי מצע. תהליך זה כולל שימוש במבשרים אורגניים ממתכת, אשר מחוממים בתוך תא כור כדי לייצר אדים. האדים שנוצרו לאחר מכן מגיבים עם מצע מוליכים למחצה, מה שמוביל להיווצרות של סרט דק. MOCVD מבוצע בתנאים מבוקרים בקפידה, כולל בקרה מדויקת על טמפרטורה, לחץ וקצב זרימת גז.
אולי אתה מעוניין
- Ceiling-mounted PIR occupancy sensor with dry-contact relay output
- 12/24VDC or 12/24VAC low-voltage supply
- COM, NO, and NC isolated relay contacts for EMS, HVAC, and building control inputs
- Low-voltage DC recessed ceiling-mounted microwave motion sensor switch
- 12 VDC / 24 VDC input with 10-30 VDC range
- 10A max work current with adjustable time delay, Lux threshold, and sensitivity
- Higher-load recessed ceiling-mounted microwave motion sensor switch
- 100-265 VAC line-voltage input, 10A model
- 5.8 GHz microwave sensing with adjustable time delay, Lux threshold, and sensitivity
- Recessed ceiling-mounted microwave motion sensor switch
- 100-265 VAC line-voltage input, 5A model
- 5.8 GHz microwave sensing with adjustable time delay, Lux threshold, and sensitivity
- Ceiling-mounted RZ037 PIR occupancy sensor dimmer for 220V power
- 3A maximum working current with 660W rated load
- LUX button controls light-sensor ON/OFF and user-set dimming brightness
- Ceiling-mounted RZ037 PIR occupancy sensor dimmer for 110V power
- 3A maximum working current with 330W rated load
- LUX button controls light-sensor ON/OFF and user-set dimming brightness
- Low-voltage DC ceiling-mounted microwave motion sensor switch
- 12 VDC / 24 VDC input with 10-30 VDC range
- 10A max work current with adjustable time delay, Lux threshold, and sensitivity
- Higher-load ceiling-mounted microwave motion sensor switch
- 100-265 VAC line-voltage input, 10A model
- 5.8 GHz microwave sensing with adjustable time delay, Lux threshold, and sensitivity
- Ceiling-mounted microwave motion sensor switch
- 100-265 VAC line-voltage input, 5A model
- 5.8 GHz microwave sensing with adjustable time delay, Lux threshold, and sensitivity
- Low-voltage DC recessed ceiling mount PIR motion sensor switch
- 12 VDC / 24 VDC input with 10-30 VDC range
- Max work current 10A with adjustable time delay, Lux threshold, and sensitivity
- Higher-load recessed ceiling mount PIR motion sensor switch
- 100-265 VAC line-voltage input, 10A model
- 360-degree detection with adjustable time delay, Lux threshold, and sensitivity
- Recessed ceiling mount PIR motion sensor switch
- 100-265 VAC line-voltage input, 5A model
- 360-degree detection with adjustable time delay, Lux threshold, and sensitivity
- Wireless switch and receiver kit for indoor ON/OFF lighting control
- 100-230VAC, 50/60Hz receiver with 5A rated current
- CR2032-powered wireless switch with 2.4GHz communication
- תפוסה (הפעל-אוטומטי/כיבוי-אוטומטי)
- 12–24V DC (10–30VDC), עד 10A
- כיסוי של 360°, קוטר 8–12 מ'
- עיכוב זמן 15 שניות–30 דקות
- חיישן אור כבוי/15/25/35 לוקס
- רגישות גבוהה/נמוכה
- מצב תפוסה הפעלה אוטומטית/כיבוי אוטומטי
- מתח 100–265V AC, עומס 10A (ניטרל נדרש)
- כיסוי ב-360°; קוטר גילוי 8–12 מ'
- עיכוב זמן 15 שניות–30 דקות; Lux OFF/15/25/35; רגישות גבוהה/נמוכה
- מצב תפוסה הפעלה אוטומטית/כיבוי אוטומטי
- מתח 100–265V AC, 5A (דרוש נייטרל)
- כיסוי ב-360°; קוטר גילוי 8–12 מ'
- עיכוב זמן 15 שניות–30 דקות; Lux OFF/15/25/35; רגישות גבוהה/נמוכה
- 100V-230VAC
- מרחק שידור: עד 20 מ'
- חיישן תנועה אלחוטי
- בקר מחובר ישירות לחשמל
- מתח: 2x סוללות AAA / 5V DC (Micro USB)
- מצב יום/לילה
- עיכוב זמן: 15 דקות, 30 דקות, 1 שעה (ברירת מחדל), 2 שעות
שאלות נפוצות
בתהליך MOCVD, רקיק מחומם נחשף לזרם גז המכיל 'קודמים' כגון טרימתיל-גליום ואמוניה (TMGa, NH3). מבשרים אלה מתפרקים בעת חימום, בדרך כלל בטמפרטורות הנעות בין 400 מעלות צלזיוס ל-1300 מעלות צלזיוס בהתאם לחומר שיש להפקיד.
שקיעת אדים כימית אורגנית (MOCVD) היא גרסה שונה של שקיעת אדים כימית (CVD) [22,23]. הוא משמש לייצור סרטים דקים מוליכים למחצה גבישיים בטוהר גבוה ומבנים מיקרו/ננו.
מה ההבדל בין MOCVD ל-MOVPE
MOCVD, המכונה גם MOVPE או OMVPE, היא שיטה בשימוש נרחב לגידול חומרים מוליכים למחצה מקבוצת III-V על מצע סיליקון.
בנוסף ליכולתו להשיג ייצור ברמת דיוק גבוהה, MOCVD מציע את היתרון של הפקדת סרטים דקים בנפחים גבוהים. יכולת ייצור בקנה מידה גדול זה מדויקת יותר בהשוואה לשיטות אחרות. יתר על כן, MOCVD הוא תהליך גמיש, מה שהופך אותו לבחירה חסכונית יותר בהשוואה לתהליכים חלופיים.
חברות רבות מספקות סובסידיות הנעות בין 8-10 מיליון יואן (כ-1.2 עד 1.5 מיליון דולר) לרכישת כורי MOCVD. כורים אלה, השייכים לדור האחרון של מערכות בעלות קיבולת גבוהה, עולים בדרך כלל כ-2.5 מיליון דולר כל אחד.
הומצא בחברת Rockwell International על ידי Harold Manasevit, MOCVD היה מוכן להמשך חקירה וקידום כאשר ראסל Dupuis הפך לחלק מהחברה ב-1975.
מבעבע ב-MOCVD מתייחס לצילינדר המהווה חלק בלתי נפרד ממערכת השקיעה הכימית האורגנית של מתכת (MOCVD). התקנים אלה תוכננו במיוחד להובלת תרכובות מתכת-אורגניות בדרגה אלקטרונית ממבשר נוזלי או מוצק לצורת אדים שניתן להשתמש בה בתהליך.
שיעורי צמיחה אופייניים לסרטי GaN מתכת-אורגניים (MOCVD) עם ניידות גבוהה נעים בין 2 ל-3 מיקרומטר לשעה.
מהם היתרונות של MOCVD על פני MBE
MBE ידוע בדיוק הגבוה שלו, אבל הוא מגיע עם תג מחיר גבוה ודורש שואב אולטרה גבוה. מצד שני, MOCVD היא אפשרות חסכונית יותר הפועלת תחת לחץ. עם זאת, חשוב לציין ש-MOCVD עשוי שלא להציע את אותה רמת דיוק כמו MBE. בסופו של דבר, הבחירה בין שתי הטכניקות צריכה להתבסס על הדרישות הספציפיות של היישום ורמת השליטה הרצויה על השכבות המצופות.